中微公司2026年上半年营收66.91亿元，净利润28.25亿元，同比增长300.22%

中微公司发布2026年半年度报告。报告显示，公司上半年实现营业收入66.91亿元，同比增长34.89%；归属于上市公司股东的净利润28.25亿元，同比增长300.22%；基本每股收益4.33元。第二季度营业总收入37.76亿元，同比增长35.48%；归属于母公司所有者的净利润18.95亿元，同比增长382.32%。报告期内，公司出售部分持有的拓荆科技股份有限公司股票，产生投资收益约9.53亿元；以公允价值计量且其变动计入当期损益的对外股权投资产生公允价值变动收益和投资收益合计约10.29亿元，同比增加约8.61亿元。

2026年上半年，中微公司研发投入约20.41亿元，同比增加约5.50亿元，增长约36.86%，研发投入占营业收入比例约为30.51%。在研项目涵盖六大类设备、超20款新设备，包括新一代电容耦合等离子体刻蚀机、电感耦合等离子体刻蚀机、晶圆边缘刻蚀设备、低压化学气相沉积及原子层沉积设备薄膜设备、大平板设备以及多款新型MOCVD设备等。针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，多种关键刻蚀工艺实现大规模量产。

低温高深宽比刻蚀设备Primo Nanova LUX-Cryo已在客户下一代产品产线上稳定量产，下一代高精度ICP刻蚀设备Primo Angnova Beta机在客户端认证顺利并取得多个重复订单。薄膜沉积设备方面，钨系列薄膜沉积产品已全部通过关键存储客户端量产验证并获得重复量产订单；金属栅系列产品已完成多个先进逻辑客户设备验证；金属硅化物集成系统已交付多个先进逻辑、先进存储客户，现场验证顺利推进。

泛半导体领域，公司已建立氮化镓LED外延装备优势，并进一步研发面向硅基氮化镓异质外延功率器件的专用设备。2026年上半年，新型氮化镓功率器件应用MOCVD设备已付运至领先客户端开展生产验证，新型8寸碳化硅外延设备已进入国内头部企业进行生产验证并取得重复订单，红黄光LED应用的MOCVD设备样机验证进展顺利。公司于上半年启动磷化铟材料体系专用MOCVD设备的开发。目前公司五十多种设备产品已覆盖超30%前道集成电路设备产品。

产能布局方面，位于上海临港滴水湖畔、建筑面积约10万平方米的总部大楼暨研发中心于8月1日正式落成启用。